5-osové frézované keramické izolátory pre polovodičové zariadenia a čisté priestory

Vo svete výroby polovodičov a čistých priestorov, kde sú všetky komponenty náročné, musí poskytovať bezchybný výkon.PFT, špecializujeme sa na remeselné spracovanie5-osové frézované keramické izolátoryktoré nanovo definujú presnosť a spoľahlivosť. S viac ako 20Naše riešenia, ktoré sme si vybudovali na základe dlhoročných skúseností, sú navrhnuté tak, aby spĺňali náročné požiadavky polovodičových zariadení a zabezpečovali tepelnú stabilitu, elektrickú izoláciu a prevádzku bez kontaminácie v mimoriadne citlivých prostrediach.

Prečo si vybrať naše 5-osové frézované keramické izolátory?

1.Pokročilé výrobné možnosti

Naše zariadenie je vybavenénajmodernejšie 5-osové CNC frézky, čo umožňuje presnosť na úrovni mikrónov pri tvarovaní pokročilých keramických materiálov, ako je oxid hlinitý (Al₂O₃), karbid kremíka (SiC) a nitrid hliníka (AlN). Na rozdiel od konvenčných metód umožňuje 5-osové obrábanie zložité geometrie – ktoré sú kľúčové pre komponenty, ako sú zdvíhacie kolíky doštičiek, časti nanášacej komory a plazmovo odolné izolanty.

Kľúčové vlastnosti:

•Presnosť:Tolerancia ±0,005 mm pre bezproblémovú integráciu do litografických nástrojov ASML alebo leptacích systémov Lam Research.
•Všestrannosť materiálu:Optimalizované pre 99,8 % oxid hlinitý, vysoko čistý SiC a inú pokročilú keramiku.
•Povrchová úprava:Ra <0,2 μm na minimalizáciu tvorby častíc v čistých priestoroch triedy ISO 1.

2.Vlastné procesné inžinierstvo

Naši inžinieri vyvinuliriadenie procesov v uzavretej slučkektoré sa prispôsobujú krehkosti keramiky počas obrábania. Kombináciou techník suchého frézovania s tlmením vibrácií v reálnom čase dosahujeme povrchy bez trhlín a predĺženú životnosť súčiastok – a to aj pri extrémnych teplotných cykloch (až do 1 600 °C).

Inovácie v centre pozornosti:

•Protokoly na zmiernenie stresu:Minimalizujte mikrotrhliny v AlN izolátoroch pre CVD aplikácie.
•Úpravy po obrábaní:HIP (izostatické lisovanie za tepla) zvyšuje hustotu a odolnosť voči korózii.

3.Prísne zabezpečenie kvality

Každý izolátor prechádza12-stupňová kontrola, vrátane:

•CMM (súradnicový merací stroj)validácia kritických dimenzií.
•Skúška úniku héliapre kompatibilitu s vákuom.
•EDS (energeticky disperzná röntgenová spektroskopia)na overenie čistoty materiálu.

NašeSystém certifikovaný podľa ISO 9001/14001zabezpečuje sledovateľnosť od obstarávania surovín (od dodávateľov Tier 1, ako je CoorsTek) až po konečné balenie.

Aplikácie: Kde sa presnosť stretáva s výkonom

Naše izolátory sú dôveryhodné v:

•Nástroje na leptanie a nanášanie:Komponenty s povlakom SiC pre plazmovú odolnosť v moduloch Applied Materials™.
•Iónové implantátory:Zdvíhacie kolíky z oxidu hlinitého s antistatickým povlakom zabraňujúcim skĺznutiu doštičiek.
•Metrologické systémy:Izolátory s nízkou tepelnou rozťažnosťou pre EUV litografické stolíky.

Prípadová štúdia:Popredný výrobca polovodičov znížil prestoje nástrojov o 40 % po prechode na naše sprchové hlavice SiC navrhnuté na mieru, ktoré prekonali konkurenčné diely pri spracovaní 300 mm doštičiek.

Nad rámec výroby: Partnerský prístup

•Rýchle prototypovanie:Odošlite svoje CAD súbory a do 7 dní dostanete funkčné prototypy.
•Balenie do čistých priestorov na mieste:Voliteľná zostava pre čisté priestory triedy 10 pre priamu integráciu nástrojov.
•Doživotná technická podpora:Naši inžinieri poskytujú analýzu opotrebenia a služby opätovného obrábania s cieľom predĺžiť životnosť komponentov.